半導(dǎo)體制程中硅烷（SiH4）是一種特種氣體，在半導(dǎo)體工業(yè)中主要用于制作高純多晶硅、通過(guò)CVD（化學(xué)氣相沉積）工藝制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)等。

廢氣處理設(shè)備處理SIH4廢氣：

硅烷（SiH4）在使用后會(huì)產(chǎn)生的廢氣，如果未經(jīng)廢氣處理設(shè)備治理就直接高濃度對(duì)外排放，對(duì)人體和環(huán)境的惡劣影響是無(wú)法估量的。

硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，反應(yīng)性和自燃性強(qiáng)烈，有非常寬的自發(fā)著火范圍和極強(qiáng)的燃燒能量，毒性很大，如果人體吸入硅烷就會(huì)強(qiáng)烈刺激呼吸器官，是一種高危險(xiǎn)性的氣體。

在半導(dǎo)體工廠中，因工作區(qū)域一般離中心廢氣處理系統(tǒng)遠(yuǎn)，為了避免在冗長(zhǎng)的排氣過(guò)程中引發(fā)非預(yù)期的氣體泄漏，局部聚積等問(wèn)題，硅烷（SiH4）廢氣從無(wú)塵室機(jī)臺(tái)端（POU）反應(yīng)被排放出后，即先由真空Pump抽至廢氣處理設(shè)備Local Scrubber做處理，待處理過(guò)后的氣體再接續(xù)至廠務(wù)端做第二道處置。

廢氣處理設(shè)備

硅烷(SIH4)廢氣處理的危險(xiǎn)性有多大？

綜上，諸如硅烷（SiH4）此類危險(xiǎn)性廢氣如若未及時(shí)處理，倘若其一旦有故障進(jìn)而發(fā)生泄漏的問(wèn)題，很可能會(huì)導(dǎo)致各種危害如火災(zāi)爆炸、人員中毒、環(huán)境破壞等傷害，嚴(yán)重時(shí)更可能造成人員傷亡或生產(chǎn)中斷等巨大損失。同時(shí)，隨著半導(dǎo)體工藝分工越發(fā)細(xì)微，應(yīng)根據(jù)不同工藝衍生出來(lái)的氣體特性，選擇搭配合適的廢氣處理設(shè)備，才能更有效的解決廢氣問(wèn)題。

鄭州樸華科技是專業(yè)的廢氣處理設(shè)備生產(chǎn)廠家，在廢氣處理上有十幾年的經(jīng)驗(yàn)，針對(duì)硅烷、氫氣、氯氣、三氟化氫等危險(xiǎn)氣體有專業(yè)的解決方案，可以為企業(yè)客戶提供廢氣處理一站式服務(wù)。如果您需要了解廢氣處理設(shè)備的相關(guān)問(wèn)題，都可以隨時(shí)聯(lián)系我們的客服人員，我們隨時(shí)為您解答疑問(wèn)。