半導(dǎo)體行業(yè)是一個(gè)高度精密和技術(shù)密集的行業(yè)，其生產(chǎn)過程中會(huì)產(chǎn)生大量的工業(yè)廢氣，包括氧化物、氯化物、氟化物、氮氧化物、有機(jī)物等。這些廢氣如果直接排放到大氣中，將會(huì)對環(huán)境和人類健康造成嚴(yán)重的危害。因此，半導(dǎo)體行業(yè)必須采取有效的措施去進(jìn)行工業(yè)廢氣處理工作。

下面是一些常見的半導(dǎo)體行業(yè)工業(yè)廢氣處理方法：

1、活性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）來處理有機(jī)廢氣，這樣就能夠通過化學(xué)鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且將其吸附在吸附劑的表面，從而達(dá)到凈化有機(jī)廢氣的目的。活性炭吸附法目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機(jī)廢氣凈化處理?！?/p>

活性炭凈化率高（活性炭吸附可達(dá)到90%以上），實(shí)用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費(fèi)用，替換下來的飽和以后的活性炭也是需要找專業(yè)危廢公司進(jìn)行危廢處理，運(yùn)營費(fèi)用高。

活性炭吸附催化燃燒設(shè)備

2、燃燒法

燃燒法只在揮發(fā)性有機(jī)物在高溫及空氣充足的條件下進(jìn)行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用于各類有機(jī)廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大于5000mg/m3 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進(jìn)行燃燒，燃燒溫度一般控制在1100℃，處理效率高，可以達(dá)到95％一99％。

當(dāng)然，半導(dǎo)體行業(yè)的工業(yè)廢氣處理方法還需要根據(jù)實(shí)際情況選擇合適的，同時(shí)需要遵守當(dāng)?shù)氐沫h(huán)保法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)。